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          產品與服務

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          外延產品

          功率器件

          代加工平臺

          產品類別

          加工工序

          01光刻(最小線寬0.35um)

          02金屬濺射(Ti、Al、TiN、Cu、Au),金屬蒸發(Ti、Al、Ni、Pt、Mo、Ta、Ag、Co、Cr等)

          03刻蝕GaN、Si、SiO2、Si3N4、Al、TiN、Ni、Cr、Pt等

          04薄膜 PECVD沉積SiO2、Si3N4,ALD 沉積Al2O3、AlN,LPCVD 生長多晶硅、Si3N4和熱氧沉積,氧化擴散等

          05離子注入N、B、P、BF2、As、Ar

          06TSV工藝

          07磨片劃片和測試等

          快三大全